特徴:
最新の3Dユニットにより高速化を実現。0.41秒/FOVを達成し、前モデルと比較して34%向上しました。
高さ分解能0.1μm、再現性10μm ※大幅な精度向上を実現 新技術開発により、鮮明で高精度な3D画像を取得。
従来の2Dテンプレート、加工モードに加え、新たに3Dテンプレートモードを追加しました。
さらに、フィレット検査のための新しいアルゴリズムを開発。*0402チップ